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鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,本發(fā)明的目的在于提供一種采用PE-TEOS工藝制備二氧化硅薄膜的方法及設(shè)備,用于解決現(xiàn)有PE-TEOS工藝制備的二氧化硅薄膜無法作為溝槽掩。
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