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單晶硅廠危害

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1唐興昌;肖清華;周旗鋼;閆志瑞;;Si片磨削中砂輪粒徑對Si片損傷層的影響[J];半導(dǎo)體技術(shù)。3張銀霞;單晶硅片超精密磨削加工表面層損傷的研究[D];大連理工大學(xué);2006年4田業(yè)冰。

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