酸洗去除冶金硅中的典型雜質(zhì).pdf9頁-高清全文免費預覽-max文檔，研究硅粉酸洗后粒度和損失率并用能譜進行成分分析。將標定的硅片分別在水和的變化，期望對優(yōu)化酸洗工藝提供基礎理論支撐。氫氟酸中進行侵蝕，后對殘余雜質(zhì)相做。

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